سيليكون ماده اي است كه در بيشتر سيستم هاي الكترو مكانيكي (mems) مورد استفاده قرار مي گيرد از اينرو رفتارهاي سيليكون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در اين تحقيق مورد بررسي شده است .در قسمت اول قدرت شكست سيليكون در آب بررسي شده وبه كمك AFM و تصاوير ان در مقياس ميكروني و مقايسه ساختار SI-O-SI قبل وبعد از تماس با اب نشان دهنده ي ان است كه ساختار دچار دگرديسي شده است و در قسمت دوم رفتار ساختار پوشش SI/SIO2 در اب وهوا بررسي شده است در ابتدا با تغيير نيرو از 3-1 ميكرون و تغيير چرخه از N=1- N= 100 شكاف پوشش در هوا براي تغيير چرخه از 8- 0.07 نانو متر و براي اب تقريبأ بعد از چند چرخه در 0.25 نانو متر ثابت باقي مي ماند و نيز براي هوا از8.3 – 3.1 ميكرون و دراب 2.4 ميكرون ثابت مي ماند و همچنين همين شرايط نيز براي اكسيژن و نيتروژن خالص و هواي خشك انجام شده است كه نتايج نشان ميدهد كه در تماس با اكسيژن پوشش داراي شكاف بيشتري است و اين بدليل تشكيل پيوند SI-O-SI بهتري است كه ايجاد مي شود و در نهايت نتايج اين رفتارها ذكر شده است