روش هاي ميكرواسمبلي امروزه كاربرد وسيعي در صنايع مختلف از خود نشان داده است. روش مونتاژ دسته اي الكترواستاتيكي با افزايش دادن التراسوند (U2EBA) يكي از روش هاي مونتاژ براي ميكروسيسستم هاي سه بعدي كه تركيبي از نيروهاي الكترواستاتيكي و عملگر التراسوند مي باشد. مونتاژ دسته اي الكترواستاتيكي با افزايش دادن التراسوند (U2EBA) يك روش ساده و Off-chip و جزء روش هاي مونتاژ دسته اي ترموجنبشي مي باشد. راه اندازي ساده، كاربرد گسترده طيف وسيعي از فرآيندهاي ميكروميشينگ سطح، و نبود هر گونه مراحل ساخت اضافي از مزاياي اين روش مي باشد و اين ويژگي آن را از ديگر روش هاي مونتاژ مانند كشش سطحي، پوشش دهي مغناطيسي، رباتيك، و غيره متمايز مي كند.
مروري بر روش هاي ميكرو اسمبلي
روش هاي ميكرواسمبلي امروزه كاربرد وسيعي در صنايع مختلف از خود نشان داده است. روش مونتاژ دسته اي الكترواستاتيكي با افزايش دادن التراسوند (U2EBA) يكي از روش هاي مونتاژ براي ميكروسيسستم هاي سه بعدي كه تركيبي از نيروهاي الكترواستاتيكي و عملگر التراسوند مي باشد. مونتاژ دسته اي الكترواستاتيكي با افزايش دادن التراسوند (U2EBA) يك روش ساده و Off-chip و جزء روش هاي مونتاژ دسته اي ترموجنبشي مي باشد. راه اندازي ساده، كاربرد گسترده طيف وسيعي از فرآيندهاي ميكروميشينگ سطح، و نبود هر گونه مراحل ساخت اضافي از مزاياي اين روش مي باشد و اين ويژگي آن را از ديگر روش هاي مونتاژ مانند كشش سطحي، پوشش دهي مغناطيسي، رباتيك، و غيره متمايز مي كند.