ماشينكاري تخليه الكتريكي پروسه‌اي است كه در آن مواد از طريق جرقه‌هاي الكتريكي بين الكترود و قطعه‌كار بصورت غوطه‌ور در سيال دي‌الكتريك به‌وسيله يك عمل سايشي برداشته مي‌شود. اين روش در سطح ميكروني براي ايجاد ميكرو سوراخ و ميكرو شيار را ميكرو ماشينكاري تخليه الكتريكي مينامند، در اين تحقيق به بررسي پارامترهاي ميكرو سوراخ‌كاري تخليه الكتريكي به‌منظور دستيابي به يك روند صحيح براي Micro-EDM پرداخته شده است. در اين تحقيق تنگستن كاربيد باضخامت 300 ميكرومتر و سختي 82 راكول C به‌عنوان قطعه‌كار انتخاب شده كه با ساخت ابزاري با قطري كمتر از 150 ميكرومتر از جنس تنگستن- مس، با استفاده از طراحي آزمايش تاگوچيL16 براي پارامترهاي ولتاژ، جريان الكتريكي، زمان روشنايي پالس، سرعت دوراني ابزار، زمان خاموشي پالس و نوع منبع تغذيه، ميكرو سوراخ‌هايي با تلرانس استاندارد به قطر بر روي تنگستن كاربيد ايجاد شده است، كه به روش نسبت سيگنال به نويز و مدل رگرسيوني، كيفيت لبه ورودي سوراخ بررسي و بيان شده است كه مدل رگرسيوني نتايج دقيقتري را نسبت به تحليل سيگنال به نويز ارائه داده است. در اين تحقيق، در مدار RC نسبت به مدار ايزوپالس نتايج بهتري بدست آمده است همچنين سرعت دوراني بالا نتيجه مطلوبي در كيفيت سطح لبه ورودي سوراخ دارد.