امروزه از سرعت هاي خوردگي ميكروسكوپيك اتم ها براي شبيه سازي نرم افزاري فرآيند خوردگي استفاده ميگردد كه اين نرم افزار ها در ساخت سامانه هاي ميكرو الكترو مكانيكي مورد استفاده قرار ميگيرند. اين مقاله نتايج جديدي را براي سرعت هاي خوردگي ميكروسكوپيك اتم هاي اصلي در كريستال سيليكون، جهت شبيه سازي نرم افزاري فرآيند خوردگي ارايه داده است. با استفاده از ايننتايج يك نمونه تجربي از يك حسگر نيرو مورد مطالعه قرار گرفته است. با مقايسه نتايج مشخص ميگردد كه نتايج ارايه شده در اين مقاله با نتايج تجربي تطابق قابل قبولي دارند.