فصل اول : مقدمه1-1- اندازه گیری 1-2- نیاز به اندازه گیریفصل دوم : دستگاه اندازه گیری مختصات ( cmm ) 2-1- مقدمه 2-2- تاریخچه 2-3- اجزای تشکیل دهنده cmm 2-3-1- سازه مکانیکی 2-3-2- نرم افزار cmm 2-3-3- پرابها 2-4- کالیبراسیون 2-5- شرایط محیطی فصل سوم : مقدمه ای بر فناوری نانو3-1- مقدمه 3-2- تعریف 3-3- تاریخچه فناوری نانو3-4- روشهای ساخت نانو مواد3-4-1- فرآوری مکانیکی 3-4-1-1- آسیاب های مکانیکی 3-4-1-1-1- آلیاژ سازی مکانیکی 3-4-1-1-2- عوامل موثر در آسیاب مکانیکی 3-4-1-1-3- آسیاب های گلوله ای با انرژی زیاد3-4-1-1-4- آسیاب های گلوله ای سیاره ای 3-4-1-1-5- آسیاب های گلوله ای لرزشی 3-4-1-1-6- تصادم گلوله – پودر – گلوله 3-4-2- الکترو ریسندگی 3-4-3- قوس الکتریکی 3-4-3-1- روش کار 3-4-4- رسوب دهی فاز بخار3-4-4-1- رسوب دهی شیمیایی بخار 3-4-4-2- رسوب دهی فیزیکی بخار 3-4-5- پاشش حرارتی 3-4-6- روش سل ژل 3-5- مهمترین کاربردها 3-5-1- کاربرد در خودروسازی فصل چهارم : روش های اندازه گیری نانو مواد4-1- تاریخچه 4-2- اسپکتروسکوپی الکترون اوژه 4-3- پراش اشعه ایکس 4-4- آنالیز بر مبنای یون4-5- طیف سنج رامان 4-5-1- اصول کار 4-5-2- ساختمان دستگاه 4-5-3- کاربردها 4-6- طیف سنجی جرمی 4-7- سیستم باریکه یونی 4-7-1- اصول کار4-7-2- کاربردها4-8- دستگاه طیف سنجی مادون قرمز4-9- رزونانس مغناطیسی هسته4-10- پراکندگی بازگشتی رادرفورد 4-10-1- اصول فیزیکی 4-10-2- تجهیزات مورد استفاده4-10-3- مزایا و معایب 4-10-4- کاربردها 4-11- طيف‌سنجي تبديل فوريه مادون قرمز4-11-1- تئوری 4-11-2- تجزیه کیفی 4-11-3- کاربردها 4-12- طیف نگاری الکترونی برای آنالیز شیمیایی4-12-1- کاربردها4-12-2- نمونه ها4-12-3- محدودیت ها 4-12-4- مدت زمان آنالیز 4-13- میکروسکوپ الکترونی عبوری 4-14- میکروسکوپ الکترونی روبشی 4-15- میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی فصل پنجم : نانو cmm ها5-1- مقدمه 5-2- میکروسکوپ نوری میدان نزدیک روبشی 5-3- میکروسکوپ روبشی تونلی 5-3-1- مقدمه 5-3-2- نگاهی اجمالی بر عملکرد میکروسکوپ روبشی تونلی 5-3-3- روش های مبتنی بر استفاده مستقیم از STM در تعیین مشخصات سطوح5-3-3-1- مد جریان ثابت 5-3-3-2- مد ارتفاع ثابت 5-3-3-3- مد نقشه برداری از تابع کار سطح 5-3-3-4- تعیین نقشه چگالی حالات الکترونها 5-3-3-5- مد سنجش نقشه ترازهای انرژی ارتعاشی الکترونها 5-4- میکروسکوپ نیروی اتمی 5-4-1- مقدمه 5-4-2- نحوه عملکرد 5-4-3- آشکار سازی جهت گیری تیرک 5-4-4- هندسه تیرک 5-4-5- سوزن ها 5-4-6- نحوه برهمکنش سوزن با سطح 5-4-7- مدهای مختلف AFM 5-4-7-1- مدهای تماسی 5-4-7-1-1- مد نیرو ثابت 5-4-7-1-2- مد ارتفاع ثابت 5-4-7-2- روش های شبه تماسی 5-4-7-2-1- مد دامنه ثابت 5-4-7-2-2- مد تصویر برداری از اختلاف فاز5-4-8- کاربردها 5-4-8-1- مطالعة فرآيندهاي اصطكاكي و تحول ادوات تحت اصطكاك در ابعاد نانومتر 5-4-8-2- متالوژی و خوردگی فلزات 5-4-8-3- غشاها و فیلتر ها 5-4-8-4- كنترل كيفيت و بررسي ميزان نقصهاي سطحي در واحدهاي حافظة مغناطيسي5-5- نانو CMM 5-5-1- مقدمه 5-5-2- ایده های اولیه 5-5-3- فاکتور های مختلف ماشین NANO CMM 5-5-4- ویژگیهای ماشین نانو CMM5-5-4-1- مقیاس5-5-4-2- محرک5-5-4-3- میز 5-5-4-4- نانو پراب 5-5-4-4-1- پراب NPL 5-5-4-4-2- پراب فنر سه برگی 5-5-4-4-3- پراب PTB 5-5-4-4-4- پراب METAS5-5-4-4-5- پراب فیبر نوری PTB 5-5-4-4-6- پراب فیبر نوری MITUTOYO 5-5-4-5- مواد بکار برده شده 5-5-5- پیشرفت های صورت گرفته در زمینه نانو CMM ها 5-5-5-1- نانو CMM موازی با مکانیزم سه درجه آزادی 5-5-5-2- استفاده از مفاصل مغناطیسی کروی 5-5-5-3- توسعه سیستم نانو پراب در دانشگاه توکیو 5-5-6- آنالیز و تحلیل اجزای ماشین نانو CMM5-5-6-1- ساختمان ماشین 5-5-6-1-1- آنالیز تنش 5-5-6-1-2- آنالیز رسانش گرمایی 5-5-6-1-3- آنالیز دفرمه شدن گرمایی 5-5-6-2- آنالیز سوزن پراب تماسی 5-5-6-2-1- بررسی میزان جابجایی در اثر نیرو 5-5-6-2-2- آنالیز توزیع تنش در نوک سوزن در اثر نیروی ماکزیمم 5-5-6-2-3- بررسی تغییر شکل پلاستیک پس از برداشتن بار 5-5-7- نتایج و پیشنهادات پیوست : تصاویر ، نمودارها و جداول 1- تصاویر مربوط به فصل دوم 2- تصاویر مربوط به فصل چهارم 3- تصاویر مربوط به فصل پنجم مراجع 1- مراجع فارسی 2- اینترنت 3- مراجع لاتین