اساس مجموعه‌هاي ميكروالكترومكانيكي با پردازش سيگنال‌هاي الكتريكي سر و كار داشته و عملكرد آن‌ها بر پايه‌ي اصول مكانيكي است كه عمدتاً در ساختار حسگرها و محرك‌ها به كار گرفته مي‌شوند. امروزه از آنجا كه در صنايع پيشرفته افزايش سرعت و كم‌حجم شدن ابعاد بسيار مورد توجه مي‌باشند، بنابراين بررسي پارامترهاي مكانيكي جهت طراحي، ساخت و بهينه‌سازي اين سازه‌ها اجتناب‌ناپذير است. از آنجايي كه عملكرد اين سازه‌ها بر اساس تغيير شكل‌ها و جابجايي‌هاي مدام سازه‌اي هستند، همواره در معرض ارتعاشات مي‌باشند. عامل ديگري كه در پتانسيل اين سازه‌ها براي ارتعاشات مؤثر مي‌باشد وجود جرم و خاصيت ارتجاعي در مقياسي كوچك است. لذا بررسي رفتار ارتعاشي اين سازه‌ها در راستاي حذف و يا كاهش ارتعاشات از نظر اصول مهندسي از اهميت ويژه‌اي برخوردار است؛ زيرا ارتعاشات ارتباط مستقيم با عملكرد اين گونه سازه‌ها و تعيين عمر آن‌ها دارد. در اين تحقيق به بررسي فركانس طبيعي و مودهاي ارتعاشي يك مدل پركاربرد ميكروالكترومكانيكي با جرم متمركز و چهارتير گيردار پرداخته شده است. محاسبه فركانس طبيعي و مودهاي ارتعاشي براي اين سازه در دو حالت متقارن و نامتقارن، بر پايه المان محدود و با استفاده از آناليز مودال نرم‌افزار Ansysانجام پذيرفته و تاثير موقعيت جرم مركزي در رفتار ارتعاشي سازه مورد تحقيق قرار گرفته است